多晶硅還原爐

還原爐是生產(chǎn)多晶硅的核心設(shè)備，多晶硅切片后主要是用于太陽(yáng)能罰點(diǎn)，另外還有一部分經(jīng)深加工后生產(chǎn)單晶硅，而單晶硅和高純多晶硅主要用于生產(chǎn)電子元器件。多晶硅主要產(chǎn)于美、德、日等國(guó)的八大廠商，我國(guó)于2005年開始陸續(xù)興建多晶硅項(xiàng)目，而那時(shí)所有生產(chǎn)設(shè)備全部依賴進(jìn)口。我公司從2005年開始研制12對(duì)棒還原爐，目前已先后率先研制生產(chǎn)出了60對(duì)棒和72對(duì)棒還原爐，完全取代了進(jìn)口設(shè)備。其中72對(duì)棒還原爐我公司已獲得實(shí)用新型zhuanli。隨著60對(duì)棒和72對(duì)棒還原爐技術(shù)的日臻成熟，節(jié)能效果越來越明顯，48對(duì)棒及以下還原爐因產(chǎn)量低、能耗較高，目前已逐步被淘汰。

主要技術(shù)參數(shù)：

設(shè)計(jì)壓力：容器內(nèi)：0.9MPa，夾套內(nèi)：0.8MPa，底盤內(nèi)：0.55MPa

設(shè)計(jì)溫度：容器內(nèi)：330℃，夾套內(nèi)：180℃，底盤內(nèi)：110℃

設(shè)備內(nèi)直徑：60對(duì)棒：3100/3300，72對(duì)棒：3400/3600

高度：60對(duì)棒：2800，72對(duì)棒,2800

理論產(chǎn)量：60對(duì)棒：22.5噸/爐，72對(duì)棒：27噸/爐。

注：按硅棒直徑200，高2600計(jì)算